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硅片回收是新能源回收利用由相关机构回收废或过期原生多晶硅,125太阳能单晶电池片,156太阳能多晶片(整片,碎片),抛光片,头尾料,半导体硅片,及稀有金属硅片回收工艺流程具体介绍如下:
切片:将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。
退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层。
倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。